产物概述
固定式碳酰氟检测仪是用来检测环境中的碳酰氟浓度，并在其浓超标时报警。碳酰氟又名氟光气，主要用作半导体制造装置的清洗气和蚀刻气，也用于有机合成的中间体、氟化剂；碳酰氟为无色、有刺激性的有毒气体，遇水会快速水解，生成二氧化碳和氟化氢。
产物技术参数
检测气体：碳酰氟COF2,氟光气
产物型号：ERUN-PG51-CF
分辨率：0.001ppm（0-10ppm高精度）/0.01ppm（0～10 ppm）；0.01ppm（0～100 ppm），0.1ppm（0～1000 ppm），1ppm（0～5000 ppm以上）；0.01MG/L；0.1%LEL；0.01%，0.001%Vol，其他分辨率可订制
检测原理：电化学、催化燃烧、红外、热导、半导体、PID光离子等（根据现场环境和用户需求订制）
检测精度：≤&辫濒耻蝉尘苍;3%F.S；重复性：≤&辫濒耻蝉尘苍;2%
线性度：≤&辫濒耻蝉尘苍;2%；不确定性：≤&辫濒耻蝉尘苍;2%
响应时间：T90≤20秒；恢复时间：≤30秒
信号输出：总线制RS485信号，分线制4~20mA；选配：0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、无线传输、网络传输、短信报警
工作电压：12~30VDC直流电，单台设备的标准电源为24V、1A或大于1A直流电
报警方式：默认1路，可选2路无源接触点（干节点）输出，叁级报警，报警点可设置现场声光报警
防护等级：IP65防水防尘
防爆功能：ExdllCT6Gb；隔爆型
界面语言：默认中文，中英文可选
显 示 屏：1.7高清彩屏
显示方式：单通道显示
安装方式：管道式、壁挂式
工作方式：在线扩散式/管道式检测。选配：泵吸式/流通式
报警模式：低报警、高报警、区间报警
校准功能：零点自动跟踪、目标点多级校准
误操作识别：自动识别并阻止
数据恢复：全部恢复，选择性恢复（浓度、报警、全部）
日志记录：校准日志、维修日志、故障记录、故障解决对策
工作环境：温度-40℃~+70℃、湿度0-99%RH
重量：1.5KG
预处理（选配）：常温高湿预处理系统、高温高湿度预处理系统、高温高湿高粉尘预处理系统
此款仪器为固定在线式安装，可连接输气管道；直流电供电，中英文双语可切换；防护等级为IP65，防爆类型为隔爆型，外壳采用防爆材料制成，适用于各种复杂工况；1.7寸高清彩色显示屏，清晰显示浓度、时间、温湿度等信息。
碳酰氟是一种刺激性强、无色有毒的气体，对人体呼吸道粘膜和皮肤有强烈刺激性作用，是新一代工业半导体设备的清洗和刻蚀材料，虽然对环境的污染不大，但是对人体健康有很大的危害。在制备、生产以及使用的过程中要注意检测其浓度变化，可使用固定式碳酰氟检测仪检测。
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